SUPEC 2050半導體AMC綜合監(jiān)測系統(tǒng)由采樣預處理子系統(tǒng)、氣體監(jiān)測子系統(tǒng)以及輔助設備和數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)等構成，如下圖所示。
采樣預處理子系統(tǒng)由多路樣氣傳輸管、采樣泵和分布式多通道采樣儀組成，可以對多個點位進行不間斷實時采樣，并通過管路切換實現(xiàn)不同采樣點樣氣的循環(huán)監(jiān)測。
氣體監(jiān)測子系統(tǒng)由多個分析儀組成，可以根據(jù)不同的監(jiān)測需求進行定制化的搭配，實現(xiàn)不同物質的在線監(jiān)測。
輔助系統(tǒng)由集成機柜和校準單元組成，可以保證整套系統(tǒng)的正常運行，校準單元可以定期對系統(tǒng)進行校準，保證監(jiān)測數(shù)據(jù)的穩(wěn)定和準確。
數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)可以監(jiān)控查詢所有測量信息和系統(tǒng)工作狀態(tài)信息，并將監(jiān)測數(shù)據(jù)傳輸至企業(yè)的中控平臺。